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高性能エッチング液/エレクトロニクス材料

特徴

半導体半導体LED
  • 選択性に優れた各種エッチング液。
製品名 対象膜 選択性(相対値)
HICRETCH-S1

酸化Cr

HY液
Cr-Etchant
Cr
Cr/Cu=1/0.001
CuE-3000M
Cu

Cu/Ag/Ni/Sn/Al/Pb/Ti

= 1/0.052/<0.001/<0.001/<0.001/1.1/<0.001

TWL-I&U

Ti,Ti/W

Ti/Pb/Cu=1/0.13/73.5
TCL-2 シリーズ
Ti/Pb/Cu=1/11.93/0.11(40℃)
W-Etchant
W
W/Pb/Cu=1/5.97/0.06(40℃)
Ag-Etchant
Ag
Al,Ni,Cu,Zn are also etched
Mo-Etchant
Mo
Al,Ni,Cu,Zn are also etched

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