高性能過酸化水素水

特徴

半導体
  • 不純物金属含量を0.1ppbレベルで管理した、高性能・高純度な過酸化水素水(35%)
  • 洗浄液中の不純物金属のウェハ表面への吸着現象を抑制
製品名 特徴 適用例
HIRINPER-SP 高純度グレード
不純物金属イオンの吸着・汚染を効果的に抑制する
RCA洗浄液用
本液によるRCA(APM)溶液ではパーティクルと不純物金属イオンが同時に洗浄除去できる

用途

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